Ultraspurenanalytik und Kompatibilität von unkonventionellen Materialien in einer CMOS-Reinraumumgebung

Wandesleben, Annika Franziska

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DOI
10.83064/ss6z-w851
Published
2026
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Publisher
TU Bergakademie Freiberg
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no

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RIS

TY  - JOUR
TI  - Ultraspurenanalytik und Kompatibilität von unkonventionellen Materialien in einer CMOS-Reinraumumgebung
AU  - Wandesleben, Annika Franziska
PY  - 2026
DO  - 10.83064/ss6z-w851
UR  - https://doi.org/10.83064/ss6z-w851
ER  - 

APA

Franziska, W. A. (2026). Ultraspurenanalytik und Kompatibilität von unkonventionellen Materialien in einer CMOS-Reinraumumgebung. https://doi.org/10.83064/ss6z-w851

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